







SiC半橋模塊作為新一代功率半導體器件,在電力電子產業中發揮著重要作用。它憑借高耐壓、低損耗、高效率等特性,顯著提升了電力轉換系統的性能。在新能源汽車、光伏、儲能等領域,SiC半橋模塊的應用有效降低了能耗,提高了系統效率和可靠性。
某SiC半橋模塊在試驗后出現失效,柵極電阻異常降低(10Ω/30Ω,正常為無窮大),DS端短路。現對3pcs NG模塊2個OK模塊進行失效分析,查找其失效原因。
1.外觀&無損檢測 所有模塊外觀未發現開裂、變形、燒焦異常。絲印型號等信息有被打磨痕跡,引腳有焊錫殘留,有解焊的痕跡。對3pcs NG模塊進行透視檢查,結果顯示:3pcs NG模塊無損檢測未發現鍵合絲斷裂、交叉現象,內部未發現有明顯燒毀現象。 2.IV曲線 NG模塊由上下兩個MOS(T1和T2)組成,其中下MOS管(T2)明顯電學特征異常。 NG1/NG2:下MOS管G-S極短路,D-S極漏電; NG 3:下MOS管G-D-S極兩兩短路。 3.C-SAM檢測 發現NG3下MOS區域存在嚴重分層,結合電學特征,NG3應該出現了嚴重燒毀。其他失效模塊及正常模塊無分層異常,僅OK1模塊C-SAM檢查發現基板邊緣位置有分層。
4.開封 NG3發現下MOS管芯片組中最左側的芯片嚴重燒毀。從燒毀形貌分析為過流熱致燒毀。NG1和NG2未發現下MOS芯片組明顯燒毀。 5.缺陷定位&顯微分析 對開封后未發現明顯燒毀的NG1和NG2進行缺陷定位,發現: NG1缺陷定位顯示左起第5個MOS芯片上有異常熱點。 NG2缺陷定位顯示左起第3個MOS芯片上有異常熱點,柵極串聯電路上有干擾熱點。 光學/SEM觀察NG1和NG2的MOS芯片異常熱點位置,未發現明顯異常。 6.去層觀察(以NG1為例) NG1和NG2的MOS芯片異常熱點位置表面未發現有明顯異常,故需要觀察襯底。NG1與NG2的失效模式相同,均因柵極過電壓導致擊穿,故以NG1為例進行詳細分析。 圖片顯示NG1在去層后襯底上對應異常熱點的位置有一個電擊穿孔。 由上述可知NG1的下MOS的GS之間短路是由于柵介質層被電擊穿所致。因MOS管的柵極對過電壓敏感,推斷NG1和NG2是由于下MOS柵極有發生了過電壓。該過電壓可能是ESD,也有可能是異常的浪涌電壓。 7.總結 NG3下MOS管的一個芯片因過流熱致燒毀而G、D、S兩兩短路失效。 NG1和NG2下MOS因柵極過電壓擊穿而GS短路失效。 8.建議 1)對于過電流熱致燒毀,需要改善散熱; 2)對于柵極過電壓擊穿,建議做好ESD防護和柵極浪涌電壓抑制。





